大型部品の洗浄にも対応した専用の先進工場で、付着膜剥離から表面処理、精密洗浄、乾燥、品質検査、梱包までを一貫処理で実施しています。
精密洗浄においては、ステンレスやアルミ、チタンなどの金属からセラミックス、ガラス、石英まで、多種多様な素材の部品をその特性に応じた最適な方法で素材を傷めることなく洗浄。作業は安全な環境下で行い、廃棄物処理は大手専門企業に委託して、責任をもって完全処理いたします。
また洗浄だけでなく、防着板などの部品に特殊な表面処理（ブラスト、溶射、アルマイト、研磨）を行うほか、部品再生・レアメタル回収サービスも提供。製造装置部品の長寿命化を支えます。

［取扱品目］
スパッタ装置／ＣＶＤ装置／イオン注入装置／エッチング装置／真空蒸着装置／イオンプレーティング装置の構成部品、防着部品類、配管類及び石英・セラミック・樹脂・ガラス等の素材品

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安全・安心のクリーン技術と信頼の体制で「高品質メンテナンス」を追求。真空ポンプのオーバーホールから排ガス処理装置メンテナンスまで行っています。
お客様からお預かりする真空ポンプは原則として弊社便を使って集配。精密洗浄のプロフェッショナルが、オーバーホール専用工場において分解・洗浄・組立・検査・梱包・出荷まですべての工程に細心の注意を払い、最適な状態にしてお客様にお返しいたします。

［取扱品目］
ロータリーポンプ／メカニカルブースター／ドライポンプ／ターボ分子ポンプ／拡散ポンプ／クライオポンプ／排気系設備

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